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レジスト剥離装置

東設のレジスト剥離装置とは?

性能、生産性、フットプリント、コスト面で優れた有機アルカリ仕様ディップ式をメインに、完全溶解剥離を可能にするレジスト剥離装置です。ポジレジスト、ネガレジスト、リフトオフレジストの剥離・洗浄の選定、装置化にも対応します。

安全性重視
消防法、有機則、
環境対応
剥離液選定
提案します
デモ実験データの提供
フットプリント​
バッチ式でも効率の良い装置
低コスト(装置)
低ランニングコスト
液使用量と液寿命の
最適化
装置立上げ
サポート
プロセスサポートによる初期プロセス適用お手伝い

こんな事でお悩みではありませんか?

性能

➤レジストを剥離するが、完全にきれいに取れない。

 (染み等も)

➤有機溶剤で剥離しているが、最終洗浄は水で落とさない

 と完全に取れない。

➤きれいに取れる剥離液を選んだら、金属部分が変色する。

➤有機溶剤剥離後に、置換のための溶剤が必要で大変。

法律・規制

➤消防法の保管量規制があり、装置を増やせない。

➤有機則の社内規制が厳しく、有機溶剤を使いたくない。

➤無機則、劇毒物の規定により、強酸を使いたくない。

安全

➤現在使用中の剥離液が危険な薬液と言われ、変更を要求されている。

➤有機溶剤を使っているが、従業員の安全のため出来るだけ安全な薬品を使いたい。

コスト

➤現在使用中の剥離液が使い捨てでコストが大。

➤有機溶剤仕様の見積りが消化器及び置換用の溶剤により装置が大幅に高くなった。

➤枚葉式のレジスト剥離装置を使っているが、

薬品の使用量が多くコストが大。

歩留まり

➤装置を更新したいが、レジスト剥離まで、プロセスエンジニアが足り無い。

➤装置を変えるほどではないが、プロセスの対策をして歩留まりを上げたい。

上記問題を一気に解決する剥離液、装置の提案をします!

ポジレジスト/リフトオフの剥離であれば、
有機アルカリ系の剥離液+超音波のアシストで、
完全溶解剥離に変更してみませんか?

POINT 1

ディップタイプでも温度を上げて超音波のアシストがあれば強力にレジストを溶解。変色や、腐食しやすい金属は、薬液の種類を選ぶ事により、腐食防止。一度試してみたいサンプルがあれば、デモ評価も致します。

POINT 2

勿論ネガレジスト、リフトオフレジストの剥離・洗浄も選定、装置化に対応します。

POINT 3

弊社、装置設計、製造のみならず、豊富なプロセス開発経験のあるエンジニアが、装置立ち上げ、プロセス立ち上げ、歩留まり向上まで、お手伝いします。

東設のレジスト剥離装置ご提案ビジネスモデル

お客様からご注文頂いたレジスト剥離装置及びプロセスの立上げを弊社プロセスエンジニアを派遣して協力にサポート。実験及び実験データのご提供も勿論可能。
STAGE
04
装置・プロセス立上げ
STAGE
03
お客様からのヒアリング内容に基づいて、レジスト剥離装置の最終提案をする。
最も高効率、コストパフォーマンスな価格提案を実施。消防法、消火器、有機則にも対応。
レジスト剥離装置仕様提案
要求性能・プロセス確認
お客様からお問い合わせを頂き、要求性能とプロセスを確認。その内容に基づき、
対象レジスト、硬化条件、金属膜、その他材料のダメージ等より、レジスト剥離液候補選定。
STAGE
01
デモ実験・データ提供
STAGE
02
デモ実験及びデータ提供を実施。弊社エンジニアの立ち合いも可能。その結果に基づき、ご希望のレジスト剥離装置の詳細を絞っていく。

対象レジスト剥離方式及び対象プロセス

レジスト剥離

レジスト剥離

リフトオフ

ディップタイプ

USアシストでの厚膜除去

SAW・MEMS・その他

SAW・MEMS

高性能リフトオフ

高圧ジェット

半導体メモリ

高性能レジスト剥離

スピンタイプ

大面積パネル等コンベア搬送

スプレータイプ

ディスプレイ、大面積パネル

量産用USアシスト

カセット搬送

ディップタイプ

全レジスト剥離プロセス

No support

対象レジスト剥離方式

ドライプロセス

レジスト剥離プロセス

リフトオフプロセス

RIE/Ashing

フォトレジスト

フォトレジスト

溶解、体積減少剥離】

溶解力 / 超音波アシスト

超音波アシスト / Jet / 溶解力

対象プロセス

製品紹介

弊社には幅広い用途に対応したディップ式レジスト剥離装置があり、

お客様の用途に合わせて最適な装置提案をさせて頂きます。

​​お客様からの弊社製品、サービスに関するご相談、お問い合わせを承っております。

電話

 弊社営業部がお電話にてお伺いさせて頂きます。 
042-519-3037
 【受付時間】月~金 9:00~18:00
(土日祝・年末年始は休み)

メール

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担当者よりご連絡をさせて頂きます。
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