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レジスト剥離装置

有機アルカリ仕様ディップ式

幅広い用途に対応した弊社標準のディップ式レジスト剥離装置です。
■ほぼ全てのレジストに対応出来る万能性を持ち、US/MSのアシスト及び高温化も対応可能です

■カセットでの多数毎搬送が可能で生産性が格段に向上します。
■小フットプリントで価格も安価なため、低コストでご使用頂けます。
■液使用量及び液寿命の最適化が可能なため、低ランニングコストでの運用が可能です。
■燃焼性のない剥離液の提案により、消防法、有機則、環境に幅広く対応した安全重視の装置提案をします。
■弊社プロセスエンジニアによる、立上げ・プロセスサポートの協力、初期プロセス適用のお手伝いをさせて頂きます。

有機アルカリ仕様ディップ式

レジスト剥離装置

特長       : 幅広い用途に対応した用途別のディップ式レジスト剥離装置

付加機能   : プロセスエンジニアによる、装置立ち上げ、プロセス立ち上げサポート、

       GEM/SECS、各種周波数超音波アシスト機能

加熱、    : R.T~85℃まで、加熱可能

基板サイズ  : 3インチ~12インチ

基板の種類  : シリコン基板、AL-TiC基板、LN基板、フェライト基板、水晶基板

用途      : レジスト剥離、リフトオフ、接着剤剥離、マスク洗浄

剥離液の種類  :有機アルカリ系、有機溶剤系、有機アルカリ+溶剤混合系、

        炭化水素系、加熱無機強酸過水系

剥離洗浄

有機アルカリタイプ

(モノエタノールアミンベース、MEA+DIW+DEG)

有機溶剤タイプ

(NMP、PEGME/PEGMEA)

石油系炭化水素

(ドデセン、イソパラフィン系)

加熱無機酸

(沸硝酸、硫酸+過酸化水素)

➤ 防爆機能の装置が必要

➤ 消防法、有機則の遵守

➤ 防爆機能の装置が必要

➤ 消防法、有機則の遵守

➤ 無機則、毒劇物法遵守

➤ 完全な安全対策設備が必要

ポジレジスト

ハードベークレジスト

Standard

Support

ワックス、接着剤等

➤ 装置に特別な機能は不要

➤ 剥離対象により調整可能

➤ 安全

ほぼ全てのレジスト

ネガレジストも一部可能

レジスト剥離液 vs 装置 比較

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