マイクロバブルを使用したコンパクトで非常に高効率な湿式除害装置です。
■ドライエッチング装置から排気されるCl2、F2等のハロゲン系ガスを水だけで99.7%以上除害します。
■メタル系装置にて発生する副生成物、粉体（2.5µm）を99%以上除去します。
■薬剤を使わず、工場内リサイクル水での除害が可能な為、大幅なランニングコストの削減が可能です。

■お客様の異なる製造プロセスに合わせ、小流量(30 slm)から大流量(4000 slm)対応の装置をご提供致します。

■ガス除害と粉体除去それぞれに特化したタイプがあり、お客様のニーズにお応えします。

■Panaceaの導入により、生産装置のダウンタイムの減少と燃焼除害装置のメンテナンスサイクルの向上が実現可能です。