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除害装置(湿式除害装置)

 

Panaceaシリーズ(マイクロバブルスクラバー)

マイクロバブルを使用したコンパクトで非常に高効率な湿式除害装置です。
■ドライエッチング装置から排気されるCl
2、F2等のハロゲン系ガスを水だけで99.7%以上除害します。
■メタル系装置にて発生する副生成物、粉体(2.5µm)を99%以上除去します。
■薬剤を使わず、工場内リサイクル水での除害が可能な為、大幅なランニングコストの削減が可能です。
■お客様の異なる製造プロセスに合わせ、小流量(30 slm)から大流量(4000 slm)対応の装置をご提供致します。
■ガス除害と粉体除去それぞれに特化したタイプがあり、お客様のニーズにお応えします。
■Panaceaの導入により、生産装置のダウンタイムの減少と燃焼除害装置のメンテナンスサイクルの向上が実現可能です。

Panaceaシリーズ製品紹介

Panaceaにはガス除害特化タイプと粉体除去特化タイプの2種類あり、お客様の用途に合わせて最適な装置提案をさせて頂きます。

ガス除害特化タイプ

Cl2を水のみで除害したいお客様向けのマイクロバブルスクラバーです。

P-60VD

・最大処理風量:60L/min

・処理槽:2段

P-60VT

・最大処理風量:60L/min

・処理槽:3段

P-100VT

・最大処理風量:100L/min

・処理槽:3段

粉体除去特化タイプ

粉詰まり閉塞問題にお悩みのお客様向けのマイクロバブルスクラバーです。

P-200V

・最大処理風量:200L/min

・処理槽:1段

P-200V-M2

・最大処理風量:200L/min

・処理槽1段、ミキサー並列2本式

P-1000V

画像
準備中

・最大処理風量:1000L/min

・処理槽:1段

製品名:Panacea

型式:P-200V-HA-M2

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弊社除害装置カタログ

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