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除害装置（湿式除害装置）

東設の除害装置とは？

半導体製造および液晶ディスプレイ製造工程においてCVD装置やエッチング装置から排気される

有害ガスを除害(処理)するための湿式除害装置です。

燃焼除害装置から出る
発がん性
物質の抑制
水のみでCl2除害効率
99%以上
生産装置の
歩留り向上
液晶工場への
豊富な
納入実績

対象ガスと対象プロセス装置

対象ガス
Cl2、BCl3、HBr、HCl、SF6、CF4、HF、COF2、ClF3、NH3、POCl3、SiCl4、SiF4、GeCl4、F2
対象プロセス装置
＜エッチング装置＞
ドライエッチング装置、ウェットエッチング装置
 
＜その他＞
エピタキシャル成長装置、リン拡散装置、シリンダーキャビネットのベントガス、ウェット洗浄機、ウェット剥離装置、緊急除害装置、粉体処理用
Panacea導入例
他方式除害装置との組み合わせタイプ
（例：PFC除害装置の前処理、後処理）

製品紹介

弊社には2種類の湿式除害装置があり、お客様の用途に合わせて最適な装置提案をさせて頂きます。

Panaceaシリーズ

マイクロバブルによる高効率ガス除害装置です。

当社標準機となります。

P-200V-M2

EXシリーズ

シャワー・バブリング方式によるガス除害装置です。

EXシリーズ

新製品のお知らせ

製品名：Panacea

型式：P-200V-HA-M2

P-200V-HA-M2

弊社除害装置カタログ

弊社除害装置のカタログは下記からダウンロード下さい。

CONTACT

​問い合わせ

お客様からの弊社製品、サービスに関するご相談、お問い合わせを承っております。​

​一度お話をお聞かせ下さい。弊社営業部が迅速にご対応致します。

電話

042-519-3037

【受付時間】月～金　9:00～18:00
（土日祝・年末年始は休み）
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