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除害装置（湿式除害装置）
製品一覧
弊社には2種類の湿式除害装置があり、お客様の用途に合わせて最適な装置提案をさせて頂きます。
東設の除害装置とは？
半導体製造および液晶ディスプレイ製造工程においてCVD装置やエッチング装置から排気される
有害ガスを除害(処理)するための湿式除害装置です。
燃焼除害装置から出る
発がん性
物質の抑制
水のみでCl2除害効率
99%以上
生産装置の
歩留り向上
液晶工場への
豊富な
納入実績
対象ガスと対象プロセス装置
対象ガス
Cl2、BCl3、HBr、HCl、SF6、CF4、HF、COF2、ClF3、NH3、POCl3、SiCl4、SiF4、GeCl4、F2
対象プロセス装置
＜エッチング装置＞
ドライエッチング装置、ウェットエッチング装置
＜その他＞
エピタキシャル成長装置、リン拡散装置、シリンダーキャビネットのベントガス、ウェット洗浄機、ウェット剥離装置、緊急除害装置、粉体処理用
他方式除害装置との組み合わせタイプ
（例：PFC除害装置の前処理、後処理）
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