脱気システム

東設の脱気システムとは?

通常の純水に溶け込んでしまう空気の成分である窒素、酸素のガス成分を減圧や気液分離方式で取り除き、コントロールすることにより減少させた脱気水を用いて、既存プロセスの歩留りを改善します。

超音波効率
コントロール​
純水(薬液)品質の改良
表面改質
​濡れ性改善
めっき、深い溝への
濡れ性改善
耐腐食効果
純水(薬液)、アルコールからの脱気・脱水
長寿命化
薬液中気体分子の除去
​酸化等の変質防止
脱泡対策
薬液中気体分子の除去
​による気泡減少、脱泡
フットプリント
既存プロセスに後付け
するだけ

東設脱気システムは工業・食品・医薬品・化粧品といった

様々な用途にご使用頂けます!

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1.機械加工(ポリッシュ後)後の洗浄力向上:パーティクル低減

2.スパッタ治具等洗浄力向上:パーティクル低減

3.レジスト剥離液脱気:レジスト剥離力向上

超音波効率

​コントロール

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1.腐食性めっき材料(Fe,Co,Cu等)のめっき後の洗浄:腐食性改善

2.腐食性材料の機械加工後の洗浄:腐食性改善

3.CMP加工後の脱酸素保管水:ガルバニック腐食防止

耐腐食効果

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1.ゼラチン・コラーゲン等高粘度液、レジスト液:気泡除去

2.めっき液:気泡除去

気泡対策

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1.電解めっき前処理改善:気泡、無めっき改善

2.無電解めっき前処理改善:気泡、無めっき改善

3.ワーク濡れ性改善:洗浄性の改善

4.治具濡れ性改善:洗浄性の改善

表面改質

​濡れ性改善

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1.Auめっき直接脱気:酸化(劣化)防止による長寿命化

2.Cuめっき液添加剤直接脱気:酸化(劣化)防止による長寿命化

3.アミンベースのレジスト剥離液直接脱気:酸化(劣化)防止による長寿命化

長寿命化

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その他の用途のご相談についてはお問い合わせください。

その他

東設の脱気システムの原理

脱気水は、通常の純水に溶け込んでしまう空気の成分である窒素、酸素のガス成分を減圧や気液分離方式で取り除く(コントロールする)ことにより減少させた液体です。弊社システムは中空糸フィルターを真空ポンプで減圧することでより効率良い脱気ができるシステムであり、用途に応じて脱気度をコントロールすることが可能です。

脱気システム原理01.png

製品一覧

弊社にはお客様のプロセスに最適な脱気システムがあり、

お客様の用途に合わせて最もコストパフォーマンスが高い装置提案をさせて頂きます。

脱気LIVALLEY-本体写真02.png

Stand-Alone type

LV-SCW25S, LV-SCW10S, LV-SCC10S

基本仕様

■ 液種     :純水、薬液

■ 推奨流量   :10~25L/min

■ 真空ポンプ      :あり

■ 使用温度   :Max.40℃*

■ 濾過フィルタ :0.2µm

■ 溶存酸素計  :オプション

■ 送液ポンプ      :オプション

■ サイズ    :450(W)x340(D)x1315(H)

*使用温度については120℃までのオプション有り

IMG_1827111_1.png

Compact type

LV-SCC5K

基本仕様

■ 液種     :純水、薬液

■ 推奨流量   :5L/min

■ 真空ポンプ      :オプション

■ 使用温度   :Max.40℃*

■ 濾過フィルタ :オプション

■ 溶存酸素計  :オプション

■ 送液ポンプ      :オプション

■ サイズ    :180(W)x125(D)x300(H)

弊社Blogにて具体的なサービス内容をご紹介しています

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