株式会社 東設

本社ヘッドオフィス

〒358-0045

埼玉県入間市寺竹46-13

TEL:    04-2936-2440

東京オフィス

〒190-0023

東京都立川市柴崎町3-6-19勇和ビル2階

TEL:    042-519-3037

Email:  info@tosetz.com

  • Facebookの - ホワイト丸
  • Twitter - White Circle
  • YouTube - White Circle

COPYRIGHT©2008~2019 株式会社 東設. ALL RIGHTS RESERVED. 

脱気システム

東設の脱気システムとは?

通常の純水に溶け込んでしまう空気の成分である窒素、酸素のガス成分を減圧や気液分離方式で取り除き、コントロールすることにより減少させた脱気水を用いて、既存プロセスの歩留りを改善します。

超音波効率
コントロール​
純水(薬液)品質の改良
表面改質
​濡れ性改善
めっき、深い溝への
濡れ性改善
耐腐食効果
純水(薬液)、アルコールからの脱気・脱水
長寿命化
薬液中気体分子の除去
​酸化等の変質防止
脱泡対策
薬液中気体分子の除去
​による気泡減少、脱泡
フットプリント
既存プロセスに後付け
するだけ

東設の脱気システムご提案ビジネスモデル

お客様からご注文頂いた脱気システム及びプロセスの立上げを弊社プロセスエンジニアを派遣して協力にサポート。実験及び実験データのご提供も勿論可能。
STAGE
04
装置・プロセス立上げ
STAGE
03
お客様からのヒアリング内容に基づいて、脱気システムの最終提案をする。
最も高効率、コストパフォーマンスな価格提案を実施。超音波の組み合わせにも対応。
脱気システム仕様提案
プロセス内容・要求確認
お客様からお問い合わせを頂き、プロセス内容・要求を確認。その内容に基づき、
洗浄プロセス、対象材料、その他条件に伴う諸条件の提案(超音波周波数、脱気度等)。
STAGE
01
デモ実験・データ提供
STAGE
02
お客様の既存設備に対しデモ装置設置、実験及びそのデータ提供を行う。

東設脱気システムは工業・食品・医薬品・化粧品といった

様々な用途にご使用頂けます!

超音波効率

​コントロール

1.機械加工(ポリッシュ後)後の洗浄力向上:パーティクル低減

2.スパッタ治具等洗浄力向上:パーティクル低減

3.レジスト剥離液脱気:レジスト剥離力向上

耐腐食効果

1.腐食性めっき材料(Fe,Co,Cu等)のめっき後の洗浄:腐食性改善

2.腐食性材料の機械加工後の洗浄:腐食性改善

3.CMP加工後の脱酸素保管水:ガルバニック腐食防止

気泡対策

1.ゼラチン・コラーゲン等高粘度液、レジスト液:気泡除去

2.めっき液:気泡除去

表面改質

​濡れ性改善

1.電解めっき前処理改善:気泡、無めっき改善

2.無電解めっき前処理改善:気泡、無めっき改善

3.ワーク濡れ性改善:洗浄性の改善

4.治具濡れ性改善:洗浄性の改善

長寿命化

1.Auめっき直接脱気:酸化(劣化)防止による長寿命化

2.Cuめっき液添加剤直接脱気:酸化(劣化)防止による長寿命化

3.アミンベースのレジスト剥離液直接脱気:酸化(劣化)防止による長寿命化

その他

その他の用途のご相談についてはお問い合わせください。

上記問題を一気に解決する方法、装置の提案をします!

超音波のエネルギー伝達効率の向上が図れる純水用脱気システムの導入により、既存の洗浄装置へ供給されている純水中の溶存酸素、溶存気体成分を効率良く、コントロール & 除去が可能です。

POINT 1

新たに高価な装置を購入する必要無く超音波洗浄効果を大幅にアップします。めっき前処理工程の効率も向上させ、TSVの穴への漏れ防止薬液を使用する必要もありません。

POINT 2

腐食性の金属を使うプロセスの純水や、有機溶剤中の溶存酸素、溶存水分をppbオーダーまで減少させることにより、腐食性を大幅に改善することができます。

POINT 3

弊社の経験豊富なプロセスエンジニアが実験からデータ解析まで、歩留まり向上に対してお手伝いいたします。

東設の脱気システムの原理

脱気水は、通常の純水に溶け込んでしまう空気の成分である窒素、酸素のガス成分を減圧や気液分離方式で取り除く(コントロールする)ことにより減少させた液体です。弊社システムは中空糸フィルターを真空ポンプで減圧することでより効率良い脱気ができるシステムであり、用途に応じて脱気度をコントロールすることが可能です。

脱気システム概念図

東設脱気システム原理

製品紹介

弊社にはお客様のプロセスに最適な脱気システムがあり、

お客様の用途に合わせて最もコストパフォーマンスが高い装置提案をさせて頂きます。

​​お客様からの弊社製品、サービスに関するご相談、お問い合わせを承っております。

電話

 弊社営業部がお電話にてお伺いさせて頂きます。 
042-519-3037
 【受付時間】月~金 9:00~18:00
(土日祝・年末年始は休み)

メール

 弊社下記専用フォームよりお問い合わせください。
担当者よりご連絡をさせて頂きます。
直接のお問い合わせはこちらより

お問い合わせ窓口