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脱気システム

東設の脱気システムとは?

通常の純水に溶け込んでしまう空気の成分である窒素、酸素のガス成分を減圧や気液分離方式で取り除き、コントロールすることにより減少させた脱気水を用いて、既存プロセスの歩留りを改善します。

前処理改善
めっき等の濡れ性改善
超音波効率
コントロール​
純水(薬液)品質の改良
耐腐食効果
純水(薬液)、アルコールからの脱気・脱水
フットプリント
既存プロセスに後付け
するだけ

こんな事でお悩みではありませんか?

コスト・歩留り

➤純水中の溶存酸素を取り除いて、超音波の効率を上げ たいが、純水製造装置の改造をする予算は出せない。

ディップ式洗浄装置の洗浄能力を上げたいが、新品を 購入する予算は無い。

➤界面活性剤洗浄の薬液、廃液コストが大きく、純水洗 浄に変更したい。

➤純水の品質を向上させ、プロセス改善したいが、プロ セスエンジニアが不足している。

性能

➤現在使用中の純水洗浄装置のパーティクル除去が不十分。

➤界面活性剤洗浄の洗浄効率を向上させたい。

➤アルカリ洗浄装置の洗浄槽の超音波効率を向上させたい。

➤純水洗浄槽の槽内の超音波のかかり具合が安定しない。

➤レジスト剥離装置の最終洗浄槽で、異物が取り切れない。

①超音波洗浄編

コスト・歩留り

➤前処理の硫酸使用量が多く、コスト削減目的で、硫酸 洗浄を止めたい。

ディップ式洗浄装置の洗浄能力を上げたいが、新品を 購入する予算は無い。

➤界面活性剤洗浄の薬液、廃液コストが大きく、純水洗 浄に変更したい。

➤前処理プロセスのプロセス改善したいが、プロセスエ ンジニアが不足している。

性能

➤現在使っている硫酸洗浄による金属エッチングダメージ があり、酸を止めたい。

➤TSVのアスペクト比が高くなり、前処理が不十分に。

➤レジストパターンの線幅が細くなり、めっき後にピット や無めっき部の発生が増加してきた。

法律・安全

➤境影響から前処理の硫酸の使用量を減少させる全社 取り組みより、使用量を削減したい。

②めっき前処理編

③腐食対策編

コスト・歩留り

➤Fe,Co材料を含んだ部品の洗浄にIPAアセトン等有機溶 剤の蒸留脱水装置を考えているが、価格も装置も大き  く、導入できる予算が無い。

既存の溶剤仕様の洗浄装置に、脱水機能を持たせたい。

➤薄膜プロセス、機械加工の前後工程の耐食性プロセス  構築をしたいが、プロセスエンジニアが不足している。

性能

➤金属や複合材料の機械加工中の水での微妙なエッチングに 困っている。

➤金属や複合材料の機械加工後のIPA,アセトン洗浄でエッチ ングが発生している。

➤Fe,Coなどの腐食しやすい材料の洗浄で困っている。

➤F,Co使用の複合材料のCMP加工後の水中保管中にガルバ  ニック現象で腐食してしまう。

安全

➤有機溶剤中の脱水装置を考えているが、蒸留方法の 安全対策が危険でできない。

上記問題を一気に解決する方法、装置の提案をします!

超音波のエネルギー伝達効率の向上が図れる純水用脱気システムの導入により、既存の洗浄装置へ供給されている純水中の溶存酸素、溶存気体成分を効率良く、コントロール & 除去が可能です。

POINT 1

新たに高価な装置を購入する必要無く超音波洗浄効果を大幅にアップします。めっき前処理工程の効率も向上させ、TSVの穴への漏れ防止薬液を使用する必要もありません。

POINT 2

腐食性の金属を使うプロセスの純水や、有機溶剤中の溶存酸素、溶存水分をppbオーダーまで減少させることにより、腐食性を大幅に改善することができます。

POINT 3

弊社の経験豊富なプロセスエンジニアが実験からデータ解析まで、歩留まり向上に対してお手伝いいたします。

東設の脱気システムご提案ビジネスモデル

お客様からご注文頂いた脱気システム及びプロセスの立上げを弊社プロセスエンジニアを派遣して協力にサポート。実験及び実験データのご提供も勿論可能。
STAGE
04
装置・プロセス立上げ
STAGE
03
お客様からのヒアリング内容に基づいて、脱気システムの最終提案をする。
最も高効率、コストパフォーマンスな価格提案を実施。超音波の組み合わせにも対応。
脱気システム仕様提案
プロセス内容・要求確認
お客様からお問い合わせを頂き、プロセス内容・要求を確認。その内容に基づき、
洗浄プロセス、対象材料、その他条件に伴う諸条件の提案(超音波周波数、脱気度等)。
STAGE
01
デモ実験・データ提供
STAGE
02
お客様の既存設備に対しデモ装置設置、実験及びそのデータ提供を行う。

こんな事でお悩みではありませんか?

コスト・歩留り

➤純水中の溶存酸素を取り除いて、超音波の効率を上 

げたいが、純水製造装置の改造予算は出せない。

➤ディップ式洗浄装置の洗浄能力を上げたいが、新品を

購入する予算は無い。

➤界面活性剤洗浄の薬液、廃液コストが大きく、純水洗

浄に変更したい。

➤純水の品質を向上させ、プロセス改善したいが、プロ

セスエンジニアが不足している。

性能

➤現在使用中の純水洗浄装置のパーティクル除去が不十分。

➤界面活性剤洗浄の洗浄効率を向上させたい。

➤アルカリ洗浄装置の洗浄槽の超音波効率を向上させたい。

➤純水洗浄槽の槽内の超音波のかかり具合が安定しない。

➤レジスト剥離装置の最終洗浄槽で、異物が取り切れない。

①超音波洗浄編

コスト・歩留り

➤前処理の硫酸使用量が多く、コスト削減目的で、硫酸

洗浄を止めたい。

ディップ式洗浄装置の洗浄能力を上げたいが、新品を

購入する予算は無い。

➤界面活性剤洗浄の薬液、廃液コストが大きく、純水洗

浄に変更したい。

➤前処理プロセスのプロセス改善したいが、プロセスエ

ンジニアが不足している。

性能

➤現在使っている硫酸洗浄による金属エッチングダメージ

があり、酸を止めたい。

➤TSVのアスペクト比が高くなり、前処理が不十分に。

➤レジストパターンの線幅が細くなり、めっき後にピット

や無めっき部の発生が増加してきた。

法律・安全

➤環境影響から前処理の硫酸の使用量を減少させる全

社取り組みより、使用量を削減したい。

②めっき前処理編

③腐食対策編

コスト・歩留り

➤Fe,Co材料を含んだ部品の洗浄にIPAアセトン等有機溶 剤の蒸留脱水装置を考えているが、価格も装置も大きく、導入できる予算が無い。

既存の溶剤仕様の洗浄装置に、脱水機能を持たせたい。

➤薄膜プロセス、機械加工の前後工程の耐食性プロセス 構築をしたいが、プロセスエンジニアが不足している。

性能

➤金属や複合材料の機械加工中の水での微妙なエッチングに困っている。

➤金属や複合材料の機械加工後のIPA,アセトン洗浄でエッチングが発生している。

➤Fe,Coなどの腐食しやすい材料の洗浄で困っている。

➤F,Co使用の複合材料のCMP加工後の水中保管中にガルバ ニック現象で腐食してしまう。

安全

➤有機溶剤中の脱水装置を考えているが、蒸留方法の安全対策が危険でできない。

上記問題を一気に解決する方法、装置の提案をします!

超音波のエネルギー伝達効率の向上が図れる純水用脱気システムの導入により、既存の洗浄装置へ供給されている純水中の溶存酸素、溶存気体成分を効率良く、コントロール & 除去が可能です。

POINT 1

新たに高価な装置を購入する必要無く超音波洗浄効果を大幅にアップします。めっき前処理工程の効率も向上させ、TSVの穴への漏れ防止薬液を使用する必要もありません。

POINT 2

腐食性の金属を使うプロセスの純水や、有機溶剤中の溶存酸素、溶存水分をppbオーダーまで減少させることにより、腐食性を大幅に改善することができます。

POINT 3

弊社の経験豊富なプロセスエンジニアが実験からデータ解析まで、歩留まり向上に対してお手伝いいたします。

東設の脱気システムの原理

脱気水は、通常の純水に溶け込んでしまう空気の成分である窒素、酸素のガス成分を減圧や気液分離方式で取り除く(コントロールする)ことにより減少させた液体です。弊社システムは中空糸フィルターを真空ポンプで減圧することでより効率良い脱気ができるシステムであり、用途に応じて脱気度をコントロールすることが可能です。

脱気システム概念図

東設脱気システム原理

製品紹介

弊社にはお客様のプロセスに最適な脱気システムがあり、

お客様の用途に合わせて最もコストパフォーマンスが高い装置提案をさせて頂きます。

​​お客様からの弊社製品、サービスに関するご相談、お問い合わせを承っております。

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 弊社営業部がお電話にてお伺いさせて頂きます。 
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 【受付時間】月~金 9:00~18:00
(土日祝・年末年始は休み)

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