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脱気システム
東設の脱気システムとは？
通常の純水に溶け込んでしまう空気の成分である窒素、酸素のガス成分を減圧や気液分離方式で取り除き、コントロールすることにより減少させた脱気水を用いて、既存プロセスの歩留りを改善します。
気泡除去
脱泡対策
薬液中の気泡除去、脱泡
付着気泡の除去
表面改質
濡れ性改善
止まり穴のめっき処理
深い溝への濡れ性改善
超音波効率
コントロール
純水(薬液)品質の改良
超音波効率の改善
長寿命化
薬液中気体分子の除去
酸化・変質防止
耐腐食効果
純水(薬液)、アルコール
からの脱気・脱水による
腐食性改善
既存プロセス変更不要
配管途中に設置するだけ
小フットプリント
1Pass 脱気
東設脱気システムは工業・食品・医薬品・化粧品といった
様々な用途にご使用頂けます！
1．超音波内視鏡、顕微鏡の誤検出・ノイズ原因の気泡除去
2．高感度カメラによる流体可視化の誤検出原因の気泡除去
3．液中パーティクルカウンターの誤検出・ノイズ原因の気泡除去
4．ゼラチン・コラーゲン等、高粘度液の気泡除去
5．めっき液：気泡除去による膜厚分布改善
気泡除去
脱泡対策
1．機械加工（ポリッシュ）後の洗浄力向上：パーティクル低減
2．スパッタ治具等洗浄力向上：パーティクル低減
3．レジスト剥離液脱気：レジスト剥離力向上
超音波効率
コントロール
1．腐食性めっき材料（Fe, Co, Cu等）のめっき後の洗浄：腐食性改善
2．腐食性材料の機械加工後の洗浄：腐食性改善
3．積層パターンめっき後のレジスト剥離：ガルバニック腐食防止
4．コーティング、CMP後の脱酸素保管水：ガルバニック腐食防止
耐腐食性効果
1．電解めっき前処理改善：気泡除去、無めっき改善
2．無電解めっき前処理改善：気泡除去、無めっき改善
3．止まり穴のめっき処理：穴への付着気泡除去、無めっき改善
4．ワーク濡れ性改善・付着気泡除去：洗浄性の改善
5．治具濡れ性改善：洗浄性の改善
表面改質
濡れ性改善
1．Auめっき直接脱気：酸化（劣化）防止による長寿命化
2．Cuめっき液添加剤直接脱気：酸化（劣化）防止による長寿命化
3．アミンベースのレジスト剥離液直接脱気：酸化（劣化）防止による長寿命化
長寿命化
酸化・変質防止
その他の用途のご相談についてはお問い合わせください。
その他
東設の脱気システムの原理
脱気水は、通常の純水に溶け込んでしまう空気の成分である窒素、酸素のガス成分を減圧や気液分離方式で取り除く（コントロールする）ことにより減少させた液体です。
弊社システムは中空糸フィルターを真空ポンプで減圧することでより効率良い脱気ができるシステムであり、用途に応じて脱気度をコントロールすることが可能です。
中空糸フィルター
ガス成分(O2,N2,微小気泡)
液の流れ
表面積の大きな細管の中空糸モジュール全体を減圧して脱ガスするシステム
製品一覧
弊社にはお客様のプロセスに最適な脱気システムがあり、
お客様の用途に合わせて最もコストパフォーマンスが高い装置提案をさせて頂きます。
Stand-Alone type
LV-SCW25S, LV-SCW10S, LV-SCC10S
基本仕様
■ 液種 ：純水、薬液
■ 推奨流量 ：10～25L/min
■ 真空ポンプ ：あり
■ 使用温度 ：Max.40℃*
■ 濾過フィルタ ：0.2um
■ 溶存酸素計 ：オプション
■ 送液ポンプ ：オプション
■ サイズ ：450(W)x340(D)x1315(H)
*使用温度については120℃までのオプション有り
Compact type
LV-SCC5K
基本仕様
■ 液種 ：純水、薬液
■ 推奨流量 ：5L/min
■ 真空ポンプ ：オプション
■ 使用温度 ：Max.40℃*
■ 濾過フィルタ ：オプション
■ 溶存酸素計 ：オプション
■ 送液ポンプ ：オプション
■ サイズ ：180(W)x125(D)x300(H)
