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ウェット処理装置
東設のウェット処理装置とは？
アルカリクリーニングプロセス、レジスト剥離プロセス、ウェットエッチングプロセス、前処理改善といった多岐に渡るラインナップがあります。性能、生産性、フットプリント、コスト面で優れたディップ式をメインに取扱いしています。
薬液選定
提案します
デモ実験データの提供
小
フットプリント
バッチ式で
効率の良い装置
安全性重視
消防法、有機則、
環境対応、特化則
装置立上げ
サポート
プロセスサポートによる初期プロセス適用お手伝い
低コスト(装置)
低ランニングコスト
液使用量と液寿命の
最適化
製品紹介
弊社には幅広い用途に対応した3種類のウェット処理装置があります。
お客様の用途に合わせて最適な装置提案をさせて頂きます。
洗浄装置
Cleaning tool
■ アルカリクリーニング
■ 非水溶性洗浄
■ 界面活性剤洗浄
レジスト剥離装置
Resist Strip tool
■ レジスト剥離
■ リフトオフ
■ コーターカップ洗浄
エッチング装置
Metal Etching tool
■ 選択性エッチング
■ コントロールエッチング
