2022年12月9日3 分中小企業 研究開発展(サポイン・サビサポ)に出展します!こんにちは、営業部のTZです。 2022年12月14日~12月16日に東京ビッグサイト(東7ホール)で開催されます「中小企業 研究開発(サポイン/サビサポ)展」に出展いたします! 今回、出展内容として、平成26年度サポインで採択されました、計画名「低消費電力半導体の貫通電極...
2021年5月28日4 分めっきによるオールウェット微細配線の形成技術開発のお話こんにちは、研究開発部のTRです。 本記事では、無電解めっきによるCu拡散バリア層、シード層形成から、電解めっきによる配線形成を1台の装置で一気通貫に処理可能なめっき装置及びプロセス開発のお話をさせていただこうと思います。 最先端デバイスのモノづくりに不可欠なめっきプロセス...