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排ガス処理装置(湿式スクラバー)で サステナブルな社会に貢献



こんにちは、営業部のTZです。


弊社は、半導体や液晶パネル産業が大きく拡大した1990年代から、生産工場の各製造工程で排出される排ガスの湿式スクラバーを手掛けてまいりました。日本国内を中心に、台湾、中国、シンガポール、ドイツなど海外の生産工場への納入実績は1,000台以上になります。


このような排ガスの除害技術に長い歴史とノウハウを持つ弊社ですが、昨今"SDG s"といったサステナブルな社会を目指す意識が世界中で更に強くなっています。そこで、未来の地球環境を守るために東設ではどのような活動を行っているのかを本記事でご紹介させていただきます。



半導体、液晶、太陽電池の製造工程で         必要不可欠な排ガス処理装置

現在に至るまで、生産プロセス、製造装置の高度化、基板製品の大型化に伴い、湿式スクラバーに要求される性能も常に変化し続け、多様化してきました。弊社ではお客様からの様々なご要望にお応えしながら、電子デバイス製造分野において、スクラバー製品を提供し続けています。


具体的には次のようなご要望にお応えすべく、案件毎にカスタマイズ設計を行っています。

  • 除害対象ガスの排出濃度を何ppm以下に処理してほしい

  • 生成物で排気管を閉塞させないようにしてほしい

  • 複数台の生産装置の排ガスを1台で処理してほしい

  • 限られたスペース、高さに合わせて設計してほしい

  • 屋内(あるいは屋外)に設置したい

  • メンテ中も生産装置の稼働を止めないようにしてほしい

  • 燃焼式除害装置の前段(あるいは後段)に設置してほしい


弊社は排ガス処理装置メーカーとして、電子デバイスの製造分野向け特殊材料ガス等のサプライヤーであるエンジニアリング会社様との協業により、シリンダーキャビネットなど安全かつ信頼性の高いガス供給装置と排ガス処理装置をシステムとして価値提供するトータルソリューションの一環を担っております。




SDGsへの取り組み

SDGs(持続可能な開発目標)への取り組みとして、以下の3つのゴールとターゲットに貢献すべく、事業を営んでいます。


半導体、液晶、太陽光パネルなど電子デバイスの製造工程やそれらの資源のリサイクル工程で発生する人体に影響のある物質、大気汚染の原因となる物質、地球環境に影響を与える物質を大気に排出させないために、絶え間なく創意工夫に取り組み、顧客ニーズを満足できる排ガス処理装置とアフターサービスを提供していきます。



排ガス処理装置で目指すSDGsゴールとターゲット




採用事例① 太陽光パネルリサイクル工程向け 硝酸スクラバー

CIS型太陽光パネルのメーカーであるソーラーフロンティア様がNEDOプロジェクトで開発中の同太陽光パネルに使用されている金属資源のリサイクル実証向けに、リサイクル工程で発生する硝酸を含む排ガス処理用の屋内設置型湿式スクラバーを納入いたしました。





採用事例② 液晶パネル製造工場

台湾には、最先端の半導体や大型の液晶パネルの製造工場が数多くあります。中でも、液晶パネル工場ではその製造工程で大量の材料ガスを使用します。排ガス中に含まれる塩素ガス(Cl2)やフッ素ガス(F2)は水に溶けにくいガスであるため、TLV値以下に処理するためには工夫が必要です。


特に、燃焼式の除害装置では、排ガス中に含まれる塩素ガスが、燃焼式除害装置の燃料として使用される炭化水素と反応し、人体に非常に有害なダイオキシン類の化学物質が発生するリスクがあります。このような問題に対処するため、中国・台湾の手液晶パネルメーカーのドライエッチング工程向けに、燃焼除害装置の前段に、塩素ガスを99.95%以上除害可能な高効率ジェット式湿式スクラバーPanacea(パナシーア)を提案、複数の製造工場に多数納入した実績があります。





最後に

いかがでしたか?


今まで以上に環境問題や有限資源に対し、最先端の技術で絶え間なく創意工夫に取り組んでいるお客様と共に、東設は除害技術を磨き続けてまいります。

排ガス除害はもちろん、粉体除去等で少しでもお悩みの方はぜひ下記までお問い合わせください!


東設除害技術に興味を持っていただいた方はこちらから。

https://www.tosetz.com/contact




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